随着信息技术的飞速发展，SOI（绝缘体上硅）技术在高速微电子器件、低压/低功耗器件、抗辐照电路、高温电子器件、微机械（MEMS）以及光通信器件等主流商用信息技术领域的优势逐渐凸现，被国际上公认为是“二十一世纪的微电子技术”、“新一代硅”。为了交流近年来国内外SOI技术研究与应用的新进展，总结我国SOI研究、开发的成果，进一步促进我国SOI技术的研究、应用与产业化。第六届全国SOI技术研讨会于2005年5月24日在西安市召开。会议由总装备部微电子专业组主办、航天时代公司第七七一所承办。出席会议的有承担SOI技术研究的大学和研究所等80余人。会议由西安电子科大副校长、陕西省集成电路行业协会理事长郝跃教授主持。
　　会议共收到论文60余篇。在会议上共有40余位专家学者到会发表精彩的学术论文，受到与会者的普遍欢迎。